Optical Setup for Laser-Assisted Bonding with Through-Silicon Microscopy Capabilities

Vlasov, Aleksandr; Uusitalo, Topi; Lepukhov, Evgenii; Viheriälä, Jukka; Guina, Mircea (2025-04-02)
 
Avaa tiedosto
Lataukset: 



Vlasov, Aleksandr
Uusitalo, Topi
Lepukhov, Evgenii
Viheriälä, Jukka
Guina, Mircea
02.04.2025

IEEE Transactions on Components, Packaging and Manufacturing Technology
doi:10.1109/TCPMT.2025.3557118
Näytä kaikki kuvailutiedot
Julkaisun pysyvä osoite on
https://urn.fi/URN:NBN:fi:tuni-202504113615

Kuvaus

Peer reviewed
Kokoelmat