Ohutkalvotransistorin hilaeristekerroksen valmistaminen hafniumdioksidista atomikerroskasvatuksella

Perkiömäki, Matti (2023)
 
Avaa tiedosto
Lataukset: 



Perkiömäki, Matti
2023

Tieto- ja sähkötekniikan kandidaattiohjelma - Bachelor's Programme in Computing and Electrical Engineering
Informaatioteknologian ja viestinnän tiedekunta - Faculty of Information Technology and Communication Sciences
This publication is copyrighted. You may download, display and print it for Your own personal use. Commercial use is prohibited.
Hyväksymispäivämäärä
2023-09-27
Näytä kaikki kuvailutiedot
Julkaisun pysyvä osoite on
https://urn.fi/URN:NBN:fi:tuni-202309118091
Kokoelmat