"Paajanen, Valtteri" - Selaus tekijän mukaan Kandidaatintutkielmat

Atomikerroskasvatus on kemialliseen kaasufaasipinnoitukseen pohjautuva pinnoitusmenetelmä, jolla voidaan valmistaa ohuita pinnoitekalvoja. Menetelmä perustuu kaasumaisten lähtöaineiden käyttöön, joille pinnoitettava aine, ...